本文標題："測量工件表面粗糙度和機械幾何圖形測量顯微鏡"
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測量工件表面表面粗糙度儀和機械幾何圖形測量顯微鏡
針描方法
用手指或指甲觸摸表面而發(fā)展到用針描方法，這種方法是用一鉆
石針尖沿著一條超級來探測表面，從三維表面記錄下二維的輪廓截
面作粗糙度測量，觸針把測得的形狀偏差變成電信號再進一步處理
，這種測量儀器稱作電針描式儀器。
測量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中對于簡
單的表面已得到了和機械法測量相一致的結果，下一步是要修正由
更復雜表面所得到的結果；如車削、磨削和研磨的表面粗糙度，完
成了這一點，儀器量程便從現(xiàn)在的10μm擴展到1mm更大，這將極大
地提高它的使用性能。
顯微鏡還存在由于儀器目前的結構所強加的某些限制，例如它不
能用于測量小孔且需移動工件，在那些用接觸法不合適的場合，這
種類型的儀器將會有很多用途，同時不可用于標準實驗室代替機械
儀器。
我們近年來使用的干涉顯微鏡，它利用剪切法不但能作一般干涉
測量和微分干涉觀察，而且還能對微小樣品作干涉相應差測量，是
一種應用范圍很廣的儀器。
這里所說的利用剪切法作一般干涉測量，是把兩支光路過來的象
，完全分離并使它們產(chǎn)生干涉的方法，而微分干涉是利用分辨率以
下的剪切重疊干涉的方法。
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