本文標(biāo)題："不同材料輪廓測量-不同材料對應(yīng)的光學(xué)常數(shù)"
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不同材料輪廓測量-不同材料對應(yīng)的光學(xué)常數(shù)
不同材料
只要物體的表面由單一材料構(gòu)成，由于只引人了一個全場同一
的變化，光譜位相就不會呈現(xiàn)出問題。然而，當(dāng)表面并排出現(xiàn)兩種
不同的材料時，對于不同的波長材料在反射時將會引入不同的相移
(除非它們都是折射率虛部k=0的介質(zhì)材料)，而且在兩種材料交接
的邊界上測量得到的高度差是錯誤的。通過就測量中所使用的波長
了解不同材料對應(yīng)的光學(xué)常數(shù)，可能校正這種差異
一般說來，當(dāng)用干涉技術(shù)來測量薄膜或者厚膜時，不但是其厚
度，而且其頂部和底部的輪廓都能測量。薄膜干涉的光譜位相具有
一個多項(xiàng)式形式，多項(xiàng)式與所選擇膜的模型式是相匹配的，使用回
歸分析可以確定最佳匹配及薄膜的厚度。
為了得到更高的精度，需要知道系統(tǒng)色散引起的光譜相位，并
將其去扣除?？梢岳糜?jì)算大小來替代，不是計(jì)算光譜位相和確定
最佳匹配模擬光譜位相，而是可以利用計(jì)算幅度，并且這樣通過獲
得最佳匹配的模擬幅度大小來確定膜層的厚度。這些方法適用于光
學(xué)厚度從幾個微米到100nm的膜層。針對光學(xué)厚度小于100nm的膜層
，這種方法的靈敏度會明顯減小。
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