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本文標(biāo)題:"接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優(yōu)點(diǎn)有哪些"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過-----時(shí)間:2013-1-12 5:20:52

 接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優(yōu)點(diǎn)有哪些

 
掃描探針顯微術(shù)
(Scanning Probe Microscopy, SPM)
 
? 材料制造尺寸已由微米、次微米,逐漸發(fā)展至奈米級(jí)精密處理,高解析表面分析技術(shù)為重要關(guān)鍵技術(shù)之一。
 
? 掃描探針顯微術(shù)(SPM)具有原子級(jí)表面形狀解析度,并可檢測(cè)多種奈米級(jí)表面特性如力學(xué)特性、電性、磁性、熱性等等。
 
? 優(yōu)點(diǎn)為儀器體積小,樣品無需特殊處理,可在任何環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量。
 
SPM除了極佳的影像解析度外,它對(duì)試片表面高度之起伏非常敏感,所以亦常用在偵測(cè)表面起伏之剖面形貌、鍍層之表面粗糙度……等。
一般說來,試樣表面高低差若在10nm以內(nèi),則以SEM來檢測(cè)會(huì)因表面太過平滑而看不到影像,此種情況,可選用SPM來作檢測(cè)。AFM
的操作模式可分為三種:接觸式、非接觸式及輕敲式(TappingMode)。由于接觸式偵測(cè)的是探針與樣品間原子的排斥力,而排斥力
對(duì)距離非常敏感,所以接觸式AFM較容易獲得原子解析度.而其他兩種模式則相當(dāng)困難

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